極限壓力（極限真空）

這是真空泵在規(guī)定條件下，經(jīng)充分抽氣后能達到的zui低穩(wěn)定壓力，單位為 Pa（帕斯卡），也常用 mbar、Torr 等單位（1Torr≈133.322Pa，1mbar=100Pa）。該參數(shù)直接決定了真空泵能達到的真空環(huán)境等級，比如粗真空泵極限壓力一般在 10^5~10^2Pa，高真空泵可低至 10^-7~10^-10Pa。

前級壓力

針對需要前級泵配合工作的真空泵（如擴散泵、分子泵），指主泵正常工作時對前級泵出口壓力的要求，若前級壓力不達標(biāo)，主泵無法實現(xiàn)設(shè)計的極限真空。

抽氣速率（抽速）

指在一定壓力和溫度條件下，真空泵單位時間內(nèi)從被抽容器抽出氣體的體積，單位為 m3/h、L/s 等。抽速會隨入口壓力變化而改變，通常廠家會提供抽速 - 壓力特性曲線，例如某羅茨真空泵在入口壓力 100Pa 時抽速為 500m3/h，壓力降低后抽速會相應(yīng)衰減。

zui大入口壓力

真空泵能正常啟動和工作的zui高入口壓力，超過該壓力可能導(dǎo)致泵體過載、過熱甚至損壞，比如水環(huán)真空泵的zui大入口壓力通常接近大氣壓。

壓縮比

指真空泵排氣口壓力與進氣口壓力的比值，反映泵對氣體的壓縮能力，壓縮比過高可能引發(fā)氣體返流，影響真空度。

啟動時間

真空泵從開機到達到穩(wěn)定工作狀態(tài)所需的時間，對于需要快速建立真空環(huán)境的工藝（如半導(dǎo)體刻蝕）尤為重要。

功耗與溫升

真空泵額定工作時的功率消耗（單位為 kW）和工作過程中的溫度升高幅度，關(guān)系到設(shè)備的能耗成本和長期運行穩(wěn)定性，尤其是高真空設(shè)備對溫升控制要求嚴格。

水蒸氣容許量

真空泵在不影響性能的前提下，能抽除的水蒸氣zui大量，單位為 kg/h，對于真空干燥等含濕量高的工藝，該參數(shù)直接決定泵的適用性。

耐腐蝕性

針對有腐蝕性氣體的工況，衡量泵體材料和密封件對特定腐蝕性介質(zhì)的耐受能力，是化工、電鍍等行業(yè)選型的關(guān)鍵指標(biāo)。