皮拉尼真空計(jì)是利用 “氣體熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)的相關(guān)性" 測(cè)量真空度的熱傳導(dǎo)式真空計(jì),由加熱元件(燈絲)、溫度檢測(cè)元件、控制電路組成。其核心邏輯是:在低氣壓環(huán)境中,氣體分子密度隨壓強(qiáng)降低而減少,氣體的熱傳導(dǎo)能力(帶走燈絲熱量的效率)也隨之變化,通過(guò)測(cè)量燈絲的溫度變化或功耗變化,反向推算出環(huán)境壓強(qiáng)。
與jue對(duì)真空計(jì)(如麥克勞德真空計(jì))不同,皮拉尼真空計(jì)需通過(guò)已知壓強(qiáng)的標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn),屬于 “相對(duì)真空計(jì)",但因響應(yīng)速度快(毫秒級(jí))、可連續(xù)測(cè)量、無(wú)汞污染,成為工業(yè)場(chǎng)景中zui常用的真空測(cè)量工具之一。